Logosol LPA812-3 是一款高度集成、独立运行的晶圆预对准器，专为 200mm 和 300mm 晶圆设计。

它采用“一体化”架构，将传统方案中独立的控制器、驱动电路与通信模块全部集成于本体内部，

显著简化了系统集成与维护工作。该设备适用于透明、半透明及不透明晶圆，并支持方形基片，具备高精度、快速响应和半导体级洁净度。

Logosol LPA812-3晶圆预对准器特征

1. 创新一体化设计

• 取消外部控制器与连接电缆，减少故障点与电磁干扰风险。

• 即插即用，便于快速部署到现有半导体设备平台。

2. 先进驱动与扫描技术

• 超低惯量无刷电机：提供平稳、即时的转速与位置响应，有利于高速启停与高重复性定位。

• 先进的扫描电子技术：无需机械重新定位即可检测不同透明度（透明、半透明、不透明）及不同尺寸的晶圆，提升检测灵活性与可靠性。

3. 智能运动控制软件

• 内置一整套常用运动控制指令，支持与多种半导体主机平台（如 EFEM、分选机、检测设备）快速对接。

• 开放通信协议（RS232、以太网），便于二次开发与系统集成。

4. 高速对准能力

• 典型对准周期 < 4 秒，有助于提升整体设备吞吐量（UPTIME）与产能。

5. 高可靠性与洁净度

• Class 1 洁净度等级，适用于先进制程环境。

• 平均无故障时间（MTBF）超过 70,000 小时，降低维护成本。